10μm硅基叉指電極高精度高穩(wěn)定性MEMS氣體生物傳感器光電檢測
| 【編號】BK2021012607 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012607 | 【規(guī)格】 | ||
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1．外形尺寸:4mm*6.5mm*0.52mm.
2．線寬:10 u m，線距:10 u m，指長: 1.6mm，叉指對數(shù):50(100指).
3.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長二氧化硅，厚度為300nm;
4．金屬層結構:Ti/Au，厚度分別為30nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍:-150℃~500℃;
6.主要用于各類化學,物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質量穩(wěn)定。
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