3μm硅基叉指電極電容陣列MEMS氣體生物傳感器光電檢測高穩定性
| 【編號】BK2021012608 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012608 | 【規格】 | ||
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1.外形尺寸:6.5mm*4mm*0.52mm.
2．線寬:5 u m，線距:3 u m，指長:1.6mm，叉指對數:75(150指).
3．電極襯底為單晶硅，硅片表面生長二氧化硅，厚度為300nm;
4．金屬層結構:Ti/Au，厚度分別為30nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍: -150℃～500℃;
6．主要用于各類化學,物理及醫療傳感器，性能可靠，質量穩定。7．量大價格從優。
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