3 μm硅基叉指電極電容陣列氣體濕度生物傳感器芯片MEMS高精度
| 【編號】BK2021012604 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012604 | 【規(guī)格】 | ||
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1.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長二氧化硅，厚度為300nm;外形尺寸: 4mm*6mm*0.52mm.
2．線距:3 u m，線寬:5u m，指長:1.5mm，叉指對數(shù):120(240指).
3．金屬層結(jié)構(gòu):Cr/Au，厚度分別為30nm，100nm;
4.電極使用溫度范圍:-150℃～500℃;
5.主要用于各類化學(xué)，物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。6.量大價格從優(yōu)。
我們提供各種叉指電極。包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅），不同工藝（厚膜工藝，DPC工藝，MEMS 工藝）。
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